alicat標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量計

美國alicat M系列氣體質(zhì)量流量計可同時測量98種以上氣體的質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度,量程比0.01%到100%。

alicat標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量計優(yōu)勢

所有Alicat流量和壓力儀器的功能用戶可調(diào)節(jié)的測量和控制以下功能可用于所有流量和壓力控制器。

輕松地使用用戶可調(diào)節(jié)的設(shè)定點限制配置設(shè)定點。

控制設(shè)備在使用用戶可調(diào)節(jié)的設(shè)定點坡道的設(shè)定點到達的速度。

用戶可調(diào)節(jié)的平均值從1-255毫秒開始，在測量中平滑噪聲。

**程度地提高特定條件的性能和用戶可調(diào)節(jié)控制收益的氣體。

總計，最小/**跟蹤器和批處理控制

所有設(shè)備均可提供免費集成雙流總數(shù)（可選）。此功能準(zhǔn)確地跟蹤了1 kHz時的總體積和質(zhì)量流，并且還跟蹤   自上功率或最后一個重置以來所看到的最小/**測量值。

具有總體總數(shù)的控制器具有集成的批處理控制（可選），使用戶可以分配精確的流量。

主要指標(biāo)

量程范圍:0.5 SCCM至12,000SLPM

測量范圍:0.01% – 100%

精度:讀數(shù)的±0.6%或滿量程的±0.1%，以較高者為準(zhǔn)

可選高精度:讀數(shù)±0.5%或滿量程±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

重復(fù)性:讀數(shù)的0.1%和滿量程的0.02%

響應(yīng)時間:< 10ms工作溫度:-10℃~ +60℃

工作壓力:160 PSIA (11 barA)

alicat標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量計特點

同時測量體積流量，質(zhì)量流量，氣體壓力，氣體溫度。

現(xiàn)場可調(diào)的工程單位和STP/NTP條件。

可從98+預(yù)加載NIST可溯源氣體校準(zhǔn)選擇過程氣體。

定義和存儲多達5種成分氣體的20種定制氣體混合物。

通過集成觸摸板從背光顯示和控制配置中讀取測量值。

可選集成流量累加器和報警器。

流量超過98和20定制氣體混合物

流量儀器預(yù)加載了98多個可接可的氣體校準(zhǔn)，可確保在開關(guān)氣體時保持最高精度。

用戶還可以創(chuàng)建并節(jié)省多達20種自定義氣體混合物，每種混合最多5個組成氣體。

注意：可應(yīng)要求提供自定義氣體校準(zhǔn)。

alicat標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)

線性范圍0.5%~100%。

標(biāo)準(zhǔn)精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)

高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)

以上精度適用于所有預(yù)置氣體及通過氣體編輯器(COMPOSER?)生成的自定義氣體

典型質(zhì)量流量計響應(yīng)時間常數(shù): 5 毫秒 (超低流量下可能為10毫秒)

多種氣體標(biāo)定: 氣體選擇(Gas Select?)5.0版預(yù)置多達130種常用氣體，另內(nèi)置氣體編輯器(COMPOSER?)允許用戶自定義混合氣體

滿量程范圍: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm

常規(guī)設(shè)備線性范圍: 0.5-100% F.S, 量程可調(diào)比 200:1

316L結(jié)構(gòu)設(shè)備線性范圍: 1-100% F.S, 量程可調(diào)比 100:1 (MS系列)

**允許管路壓力: 145 psig (標(biāo)準(zhǔn)) / 50 psig (MW低壓損系列)

常規(guī)設(shè)備滿量程壓損: 1-9 psi, 取決于流量范圍

“Whisper” 低壓損系列(MW)滿量程壓損: 0.06-0.69 psi, 取決于流量范圍

標(biāo)準(zhǔn)通訊方式: RS-232數(shù)字通訊和0-5v模擬通訊

選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選

選配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS

通訊接口: 8針mini-DIN

選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配

動態(tài)顯示質(zhì)量流量、體積流量、**壓力和溫度等過程參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)顯示屏: 2.1″ 單色LCD數(shù)字式觸摸顯示屏

選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數(shù)字式觸摸顯示屏

對撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感

規(guī)格型號

數(shù)字顯示，精度1%，0-5V輸出，空氣，CSA防爆認(rèn)證（可選則：輸出方式與輸出參數(shù)、報警、氣體種類、累積器）

M-0.5SCCM-D/5M,GAS:Air，

M-1SCCM-D/5M,GAS:Air

M-2SCCM-D/5M,GAS:Air

M-5SCCM-D/5M,GAS:Air

M-10SCCM-D/5M,GAS:Air

M-20SCCM-D/5M,GAS:Air

M-50SCCM-D/5M,GAS:Air

M-100SCCM-D/5M,GAS:Air

M-200SCCM-D/5M,GAS:Air

M-500SCCM-D/5M,GAS:Air

M-1SLPM-D/5M,GAS:Air

M-2SLPM-D/5M,GAS:Air

M-5SLPM-D/5M,GAS:Air

M-10SLPM-D/5M,GAS:Air

M-20SLPM-D/5M,GAS:Air

M-40SLPM-D/5M,GAS:Air

M-50SLPM-D/5M,GAS:Air

M-100SLPM-D/5M,GAS:Air

M-250SLPM-D/5M,GAS:Air

M-500SLPM-D/5M,GAS:Air

M-1000SLPM-D/5M,GAS:Air